• 泵自身和控制器一体
不需要进行泵本身和控制器间的复杂配线作业
• 安装方向自由
因为安装方向没有限制,设备设计的自由度很高。
• 各种设备的真空排气系统
半导体制造设备
蒸发设备
溅射设备
分析设备
实验设备等
研究开发设备