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• SOLCIET有前室、有机镀膜室、电极镀膜室、中间室和glove box独立的腔室构成、可以进行从材料评价到产品特性评价的实验系统。
我们还提供丰富的选项,如溅射阴极和各种蒸发源,以扩大实验用途的范围。对应的基板尺寸的标准是100mm的。
• SATELLA采用独立的工艺室制造多腔室样式,可以进行SOLCIET难以进行的全色产品评估。 它有一个8角形传输室,可根据实际需求容纳2到4个有机沉积室。 此外,它配备了高精度的掩模对准机制,并支持有源矩阵全彩设备(active matrix full-color device)。 对应的电路板尺寸的标准是200 mm。
• ZELDA系列是批量生产兼容系统。 我们有丰富的应用,包括新开发的蒸发源。 可以对应的电路板尺寸是G2或更大。
• 有机EL Display、有机EL照明