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Load-Lock式溅射设备
背面・封装用溅射设备SRH系列
背面・封装用溅射设备SRH系列
SRH系列
背面.封装用溅射设备SRH系列,是为对应功率器件、WL-CSP、UBM等的金属成膜为目的开发的量产用设备。
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光学膜用溅射设备ULDiS 系列
光学膜用溅射设备ULDiS 系列
ULDiS系列
光学膜用溅射设备ULDiS系列,是使用了进化后的meta-mode技术的数字溅射设备,可实现高品质的光学成膜。
了解详情
Load-lock式溅射设备CS-200
Load-lock式溅射设备CS-200
CS-200系列
Load-lock式溅射设备CS-200,是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。
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Multi-chamber型溅射装置SME-200系列
Multi-chamber型溅射装置SME-200系列
SME-200系列
SME-200系列是可搭载多个工艺腔体(最大搭载3室的200E,最大5室的200J,及最大搭载7室的200)的multi-chamber式溅射设备。
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